北京led格栅灯价格据介绍，自动原位清洁技术在半导体行业是一个标配技术，但在MOCVD设备圈内，此技术还未普及，原因如下：氮化镓分解温度很高，达1400—1500摄氏度。如果是在氯气情况下，此温度会相对降低，可到900摄氏度左右，包括表面以及腔体所有的面都需降到这个温度，这对MOCVD设备厂商来说极具挑战性。目前，很多MOCVD设备采用不锈钢结构，不锈钢需要用水冷却，这与900摄氏度相互矛盾。而爱思强的MOCVD设备采用的是全石墨的腔体，可以保证表面沉积稳定，也可以保证石墨能够被加热到900摄氏度以上。
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